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sic碳化硅背面減薄全自動研磨機(jī)gnx200b概要：
1. 該研磨機(jī)系統(tǒng)是全自動向下進(jìn)給式研磨機(jī),。設(shè)備用于半導(dǎo)體材料諸如：硅,、陶瓷 ,、石英等硬質(zhì)材料的研磨。gnx200b 兼容加工4”,、5”,、6”、8”晶圓,，不需要更換夾具,。
2. 機(jī)械手從片盒取片子傳送到對中工作區(qū)，上料手拾取晶圓傳送到工作臺,，工作臺被固定在步進(jìn)臺上旋轉(zhuǎn)120 度送到粗磨工作區(qū),。
3. 在完成粗磨以后，工作臺移動到研磨軸做精磨,，在完成精磨后,，工作臺旋轉(zhuǎn)120 度到清潔站。
4. 在清潔站用去離子水和毛刷清洗晶圓，然后下料手取晶圓送到甩干臺,，在甩干臺再次用去離子水和壓縮氣體清洗,。
5. 在甩干臺晶圓被清潔后，機(jī)械手將晶圓放到片盒里,。
6. 在線自動厚度測量,，該裝置是防水的微電子測量/控制單元，用微加工器來控制測量頭,，在研磨期間和研磨前測量晶圓厚度,，操作界面上顯示測量結(jié)果，在實(shí)際硅片厚度條件下產(chǎn)生控制信號,。
7. 操作方法：全自動,、半自動、手動,。
日本okamoto gnx200b_sic碳化硅背面減薄全自動研磨機(jī)特點(diǎn)：
研削加工技術(shù)：日本機(jī)械學(xué)會授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎,。
機(jī)械精度的調(diào)整方法：通過主軸進(jìn)行調(diào)整，因?yàn)榭蛇M(jìn)行定位,，所以精度調(diào)整相當(dāng)容易,；可2處調(diào)節(jié)。
標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動方式：齒軸+定位銷進(jìn)行定位,，長年使用也不會發(fā)生位移,。
標(biāo)準(zhǔn)潤滑方式：潤滑油及防護(hù)罩，防止進(jìn)入異物造成磨損,。
設(shè)備剛性：高剛性,，不會因老化造成精度變化，部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn),。

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