濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司為您提供手動(dòng)探針臺(tái)測(cè)試晶圓探針臺(tái)失效分析iv測(cè)試光電測(cè)試探針架探針座。產(chǎn)品信息：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中,，由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來(lái)越大,，用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用,，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái),，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了不需要得部件,，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分,，隔振平臺(tái)，探針座,，四維調(diào)整載片臺(tái)chuck,，真空吸附系統(tǒng)；
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),，以達(dá)到較好得使用效果
技術(shù)參數(shù)：
◆樣品臺(tái)xyzr四維調(diào)節(jié),，xy行程根據(jù)樣品臺(tái)尺寸/晶圓尺寸而定，z軸行程10mm,，xyz整體分辨率3μm,，360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路,，完成光電mapping測(cè)試
◆整體尺寸小,，方便攜帶，底部隔振地腳,，提高測(cè)試穩(wěn)定性
◆漏電流精度：10pa/100fa屏蔽箱內(nèi)
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽,，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/pad使用
◆u型探針架,，可以放置多個(gè)探針座
◆多被用于晶圓測(cè)試、led測(cè)試,、功率器件測(cè)試,、mems測(cè)試,、pcb測(cè)試、液晶面板測(cè)試,、太陽(yáng)能電池片測(cè)試,、材料表面電阻率測(cè)試等；廣泛用于科研院校以及公司,！
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