成都超邁光電科技有限公司為您提供成都超邁surpass復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī)離子轟擊系統(tǒng)充氣系統(tǒng)在線測(cè)量系統(tǒng)。

●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng),、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機(jī)械手,、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成,，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),，可根據(jù)客戶使用需求定制。
●真空腔體：φ650x700雙層水冷,；可根據(jù)實(shí)際需求定制
●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng),；
●真空抽速：1600l/s，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),，全金屬防爆真空規(guī),；
●-真空：6.7x10-5pa；根據(jù)客戶選擇主泵確定
●磁控靶組件：4個(gè)矩形靶,，3個(gè)圓形靶,，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻,、脈沖直流濺射電源,；
●離子源：1套線性離子源，匹配-電源,；
●氣路：4路反應(yīng)氣體,，進(jìn)口流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路,；
●烘烤溫度：300℃,，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu),；
●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套,，工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛；
●控制系統(tǒng)：西門子plc+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī),。

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