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襯底材料是led照明的基礎(chǔ)，也是外延生長的基礎(chǔ),，不同的襯底材料需要不同的外延生長技術(shù),，并影響到芯片加工和器件封裝。因此，襯底材料的技術(shù)路線會影響整個(gè)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)路線,，是各個(gè)技術(shù)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵,。目前，能作為襯底材料包括al2o3,、sic,、si、gan,、gaas,、zno等，但目前商用廣泛的是al2o3,、sic,。外延片生長主要依靠生長工藝和設(shè)備。制造外延片的主流方法是采用金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積mocvd,，但即使是這種“經(jīng)濟(jì)”的方法,，其設(shè)備制造難度也非常大。

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