“ofweek2021第十八屆激光技術(shù)應用峰會暨‘維科杯’年度評選頒獎典禮”于2021年9月24日在深圳福田大中華喜來登酒店舉行,。炬光科技憑借dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統(tǒng)，一舉斬獲“維科杯”ofweek 2021年度激光行業(yè)精密激光設備技術(shù)獎,。

炬光科技及獎杯

炬光科技項目經(jīng)理 華大成右一

炬光科技推出的dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統(tǒng),，結(jié)合了產(chǎn)生光子的共晶鍵合技術(shù),、激光光源熱管理技術(shù),、熱應力控制技術(shù)以及調(diào)控光子的激光光束轉(zhuǎn)換技術(shù)和光場勻化技術(shù)，可生成一條線寬70μm,，長寬比達160:1的近紅外波段極窄線光斑,，提供1800w/mm2的連續(xù)能量輸出，在光斑長度方向上可達到＞95%的光斑均勻性和＞98%的連續(xù)輸出能量穩(wěn)定性,，同時還具備工藝點溫度監(jiān)測,，輸出光束在線檢測等附加功能。

該產(chǎn)品主要應用于28nm及以下半導體邏輯芯片制造前道工序,，通過高能量密度激光照射到晶圓表面,，在不到1毫秒的時間內(nèi)將表層原子層加熱到1000℃以上再急速冷卻，從而有效減少工序中產(chǎn)生的晶圓電極缺陷,，提高產(chǎn)品性能,，提升晶圓生產(chǎn)良品率。

dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統(tǒng)主要能夠完成動態(tài)表面退火dsa,、激光尖峰退火lsa等加工工藝,，了此類激光設備國外公司的壟斷，填補了國內(nèi)相關產(chǎn)品的空白,。

炬光科技dlight®s系列半導體集成電路晶圓退火系統(tǒng)

炬光科技將通過技術(shù),、###制造和快速響應，為成為全球可的光子應用解決方案提供商而不斷努力,。