濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司為您提供探針臺(tái)手動(dòng)測(cè)試晶圓憶阻器失效分析iv測(cè)試光電流測(cè)試mapping架,。產(chǎn)品信息：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中,，由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來(lái)越大，用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,，我司根據(jù)客戶(hù)市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,，功能實(shí)用，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái),，在滿(mǎn)足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,，去除了不需要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分,，隔振平臺(tái),，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)chuck,，真空吸附系統(tǒng),；
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用搭建探針臺(tái),，以達(dá)到較好得使用效果。
技術(shù)參數(shù)：
◆模塊化設(shè)計(jì),，可以搭建不同構(gòu)件完成不同測(cè)試
◆探針臺(tái)位移分辨率3μm,，樣品xyzr四維調(diào)節(jié)
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路,，完成光電mapping測(cè)試
◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡,，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
◆漏電流精度：10pa/100fa屏蔽箱內(nèi)
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌，線(xiàn)性移動(dòng),，無(wú)回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/pad使用
◆加寬探針架,，可以放置6個(gè)dc探針座/4個(gè)rf探針座
◆全系列搭配顯微鏡xy精密移動(dòng)功能，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式
◆多被用于科研院校搭建測(cè)試系統(tǒng),，例：材料電學(xué)測(cè)試系統(tǒng),、光電探測(cè)器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電mapping測(cè)試系統(tǒng),、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等
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