不銹鋼滾輪導(dǎo)軌-mbe設(shè)備的真空應(yīng)用
不銹鋼滾輪導(dǎo)軌系統(tǒng)由不銹鋼v型導(dǎo)軌和全不銹鋼滾輪軸承組成的，環(huán)形圓導(dǎo)軌,，可適用于真空應(yīng)用環(huán)境中；詳細(xì)說明,，請參考文章：真正-的不銹鋼導(dǎo)軌系統(tǒng)：
分子束外延mbe設(shè)備的真空室為真空環(huán)境,。真空通常用于表面科學(xué)設(shè)備中：一般來說，空氣中的分子會附著在暴露于空氣中的固體的表面,，環(huán)形圓導(dǎo)軌公司,，并改變固體的表面特性；即使在10-6mba的高真空當(dāng)中,，3秒之內(nèi)就會有一層分子附著在的固體表面,；
桁架機(jī)械手的工作狀態(tài)和使用壽命同其結(jié)構(gòu)的動態(tài)特性有很大的關(guān)系，因此有-對其進(jìn)行詳細(xì)的動態(tài)特性分析,。動態(tài)特性的理論分析和實驗研究,，環(huán)形圓導(dǎo)軌價格，采用的主要方法是模態(tài)分析法,，包含如下三大部分：
一：靜剛度分析
靜剛度是衡量桁架機(jī)械手-劣的一個重要指標(biāo),。當(dāng)滑枕沿豎直方向移動到下端時，其伸出量,，此時變形也,，所以整機(jī)的靜剛度分析選擇此-械手的位置來計算，可計算出滑枕下端沿各個軸向的靜位移量：
x軸向：0.210mm
y軸向：0.190mm
z軸向：0.010mm
由計算結(jié)果可知,，環(huán)形圓導(dǎo)軌應(yīng)用,，整個機(jī)構(gòu)在x方向的變形量，剛度較弱,，這是由于滑枕承載時,，橫梁產(chǎn)生了扭曲變形所致。同時滑枕也是該機(jī)械手靜剛度的薄弱環(huán)節(jié),，可以采用加強(qiáng)筋或增加滑枕鋁型材的壁厚等措施來提高靜剛度,。
滾輪圓弧導(dǎo)軌為精密類導(dǎo)軌產(chǎn)品，為了-加工精度,，所有的表面都經(jīng)過精密磨削加工：
圓弧導(dǎo)軌的工作精度指標(biāo)-圓跳動,，可分為徑向圓跳動和端面圓跳動：
1. 徑向圓跳動：公差帶是在垂直于基準(zhǔn)軸線的任一測量平面內(nèi),，且圓心在基準(zhǔn)軸線上的兩個同心圓之間的區(qū)域：
三個重要的影響因素為：
圓弧導(dǎo)軌安裝面b/c的加工精度：
圓弧臺階基準(zhǔn)加工精度：
滾輪v型槽直徑尺寸精度：
2. 端面圓跳動：公差帶是在與基準(zhǔn)軸線同軸的任一半徑位置的測量圓柱面上，沿母線方向的兩平行圓之間的區(qū)域：
三個重要的影響因素為：
圓弧導(dǎo)軌尺寸精度i：
水平面基準(zhǔn)加工精度：
滾輪安裝高度b1尺寸精度：
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