普通的清洗方法一般不能達(dá)到孔內(nèi)，而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會在后序工藝中會產(chǎn)生重復(fù)污染,。無論是采用清洗液清洗都容易引入新的污染源，然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實現(xiàn)無重復(fù)污染,，而且能深入mcp孔內(nèi)的效果,。對不同材料及孔徑的mcp應(yīng)采用頻率、聲強(qiáng)可調(diào)的超聲波進(jìn)行實驗,，以確定實際工藝參數(shù),。對孔徑6~12μmmcp的清洗，rca清洗機(jī),，當(dāng)媒液為水和---時,，可采用空化閾約1/3 w/cm2，聲強(qiáng)10~20 w/cm2,，頻率20~120 khz的超聲波進(jìn)行清洗,。表1是同一段不同板號的mcp采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測試結(jié)果。由檢測結(jié)果可見,，對1μm以下的小顆粒污染物,，應(yīng)選用頻率40 khz以上的超聲波進(jìn)行清洗。
采用等離子處理的優(yōu)點：1,，經(jīng)等離子處理后可增加材料表面張力,、增強(qiáng)粘接強(qiáng)度，從而提高產(chǎn)品,；2,，可替代熱融膠，使用冷粘膠或低牌號普通粘合劑來---粘結(jié),。減少膠水使用量,，sc-1清洗臺，有效降低生產(chǎn)成本；3,，采用等離子工藝,，可使uv上光、pp覆膜等難粘合材料使用水性膠水都粘得很牢,。并淘汰機(jī)械打磨,、打孔等工序，不產(chǎn)生灰塵,、廢屑,，符合---、食品等包裝衛(wèi)生安全要求,，有利于,；4，等離子處理工藝不會在---材料表面留下任何痕跡,，肉眼分辨不出來有---加工,；5，等離子因為是電離氣體,，因而,，沒有廢氣廢水等污染物排放，安全,。
一種晶圓清洗機(jī)的防噴濺裝置,，rca清洗設(shè)備，該晶圓清洗機(jī)包含一晶圓承載裝置及一圍繞設(shè)置于該晶圓承載裝置的周壁,，該晶圓承載裝置包括一承載吸盤,，該防噴濺裝置罩設(shè)于該晶圓承載裝置外周圍，該防噴濺裝置包含一屏蔽單元及一驅(qū)動機(jī)構(gòu),。屏蔽單元包括一頂端,，清洗，屏蔽單元可相對于晶圓承載裝置在一收合狀態(tài)及一展開狀態(tài)之間變換,。在收合狀態(tài)時,，屏蔽單元的頂端與承載吸盤頂---間隔一距離，在展開狀態(tài)時,，屏蔽單元的頂端與承載吸盤頂---間隔一第二距離,，第二距離大于距離。驅(qū)動機(jī)構(gòu)與屏蔽單元相連接用以驅(qū)動屏蔽單元在收合狀態(tài)及展開狀態(tài)之間變換,。借此,，可將清洗液噴濺的范圍---在屏蔽單元內(nèi)，以防止清洗液噴濺至其它物件,。
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