低壓氣相沉積真空鍍膜加工廠——廣東省科學院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一,，主要-半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究,，-重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究,，立足于廣東省經(jīng)濟社會發(fā)展的實際需要,，從事電子信息,、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性,、關(guān)鍵共性技術(shù)研究,，以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā),。

 pecvd集成了真空、化學,、物理,、機械、電氣,、高頻等各方面的技術(shù),，是一個較為復(fù)雜的系統(tǒng)。在設(shè)備研究方面,，主要解決低溫穩(wěn)定性,、粉塵污染、氣路氣密性,、高頻輝光放電,、全自動計算機控制等技術(shù)問題;在工藝研究方面，主要解決膜厚均勻性,、工藝重復(fù)性,、光電轉(zhuǎn)換效率等技術(shù)問題。在使用本設(shè)備制作薄膜時要注意3個方面的問題,，使用前的調(diào)試,、制作薄膜的程序和使用完后的歸位工作。當對pecvd通上電時,，本機有黃,、綠、紅三色燈泡指示,，然后按下“上電開關(guān)”,，待兩分鐘后按爐體“加熱”開關(guān)即可，江蘇氧化鋅真空鍍膜,，記下各溫區(qū)的升溫電流的大小(用鉗形表測量),，并記下升溫時間、到達設(shè)定溫度時間,。當各溫區(qū)到達預(yù)計溫度時,，對兩個溫控儀表進行一次自整定,，然后對中間一個儀表再整定。待數(shù)分鐘后若3個溫區(qū)儀表顯示非常平穩(wěn)時,，認定為pid各個參數(shù)合適,，若發(fā)現(xiàn)某個儀表不穩(wěn)就再進行一次自整定。