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超純氣體制備方法超純氣體的制備大多是從工業(yè)氣體加以純化,，工業(yè)液氧企業(yè),，有吸附法,、吸收法,、薄膜擴散法、電解法,、生化法,、輻射法、光解法,、低溫精餾法,、催化法等。例如超純氫,、氮,、---、,，先通過空氣分離提取較純氣體,，再經(jīng)低溫吸附獲得超純氣體；粗也可以從合成氨弛放氣中提�,�,；粗,、氙從核裂變氣中提取，石家莊工業(yè)液氧,，再經(jīng)純化而得超純氣體,。

貯運對于超純氣體，任何微小的污染都會---影響氣體的,，因此氣體貯存和運輸過程中的潔凈和高度密封性---重要,。超純氣體主要采用高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器貯存和運輸。高壓鋼瓶堅實---,，運輸和使用靈活,，氣體無損耗，但氣體純度穩(wěn)定性較差,；低溫液化氣體容器單位容積貯量很大,，但有氣體排放損耗。

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氣---壓氣體組成架構(gòu)：

系統(tǒng)組成：動力元件(油泵),、執(zhí)行元件(油缸或液壓馬達),、控制元件(各種閥)、輔助元件和工作介質(zhì)等五部分組成,。

動力元件(油泵) 它的作用是把液體利用原動機的機械能轉(zhuǎn)換成液壓力能;是液壓傳動中的動力部分,。

執(zhí)行元件(油缸、液壓馬達) 它是將液體的液壓能轉(zhuǎn)換成機械能,。其中,，油缸做直線運動,，馬達做旋轉(zhuǎn)運動。

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