一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定,。使用的工具包括煙霧,、水霧、pfa ,、和輕質(zhì)棉線,。。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小,，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng),，輸液泵公司，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式,。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時(shí)間太短,。測量平行度需要花一些時(shí)間,，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染,。另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線,，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度,。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料 flo-viz ,，是用尼龍-單絲所制成，輸液泵,，由于很輕因此適合作無塵室平行度測量,。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線,，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角,，或是測量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度,。

潔凈度檢測-采樣

所用的采樣管必須處理干凈,，與粒子計(jì)數(shù)器和采樣器連接處必須嚴(yán)密無滲漏,。采樣管的長度控制在1.5m范圍內(nèi)。采樣管的流速,，要與潔凈室斷面風(fēng)速相接近,，使之成為等動(dòng)力流速采樣。對于大流量粒子計(jì)數(shù)器,，為了降低采樣管的進(jìn)口空氣速度能維持在0.5m/s左右,，應(yīng)配以采樣頭，否則將會(huì)出現(xiàn)灰塵微粒計(jì)數(shù)偏低現(xiàn)象,。如粒子計(jì)數(shù)器無配套的采樣器時(shí),，輸液泵報(bào)告，可按下式計(jì)算自行制作一個(gè)異徑管(大小頭)

潔凈室檢測

1．潔凈度檢驗(yàn):于距地板高度約1.23~1.25m用微塵粒子計(jì)數(shù)計(jì)測試之,，測試完畢,，應(yīng)列印其數(shù)值記錄。

2．風(fēng)速及風(fēng)量檢驗(yàn):于ulpa下方約150m / m處,，輸液泵,，用熱線式風(fēng)速計(jì)測定，原則上每只ulpa測定兩點(diǎn),，每點(diǎn)之測定時(shí)間約5秒;風(fēng)量則依風(fēng)速之測試值,，以下式之公式計(jì)算之。風(fēng)量=平均風(fēng)速×出風(fēng)之面積ulpa之面積),。

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