部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源,氣壓很低,, 用普通mfc,, 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商-聲明,, 定制低壓降的流量控制器,。通常可以定制工作壓差低于0.01mpa的mfc,, 這時(shí)mfc的工作壓差范圍,, 也會(huì)變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí),,流量計(jì)控制模塊,, 不能讓汽化物在mfc中結(jié)露, 結(jié)露會(huì)影響mfc的正常工作,。為了防止結(jié)露,,流量計(jì)控制模塊公司, 可以對(duì)管路和mfc適當(dāng)加溫,, 但mfc的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃,。如果用戶要mfc的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購(gòu)買(mǎi)高溫mfc產(chǎn)品,。
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流量控制器可以用于控制各種氣體,流量計(jì)控制模塊報(bào)價(jià),, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體,,流量計(jì)控制模塊廠家, 但是要注意,, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí),, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成-損失,。
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氣體流量單位一般以sccmstandard cubic centimeter per minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升和slmstandard liter per minute,,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升來(lái)表示,。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量,。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325pa (760mm hg); 溫度—0℃ (27-k)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之處,。
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