法蝕刻仍被廣泛地應(yīng)用于當(dāng)今集成電路制造領(lǐng)域,,晶圓清洗,因其工藝可準(zhǔn)確控制薄膜的去除量以及工藝過(guò)程中對(duì)原材料的損耗較低,在今后很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)其-將無(wú)法被取代.隨著工藝尺寸的不斷縮小,,器件-性變得越來(lái)越重要,,但濕法蝕刻均勻性卻逐漸成為提高器件-性的一個(gè)瓶頸.集成電路工藝技術(shù)正進(jìn)一步向大尺寸晶圓和小尺寸單個(gè)器件的方向發(fā)展,。
刻蝕設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備的中堅(jiān)力量,,晶圓清洗機(jī),有望先完成國(guó)產(chǎn)替代,。半導(dǎo)體設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和封測(cè)流程,,是半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)。隨著半導(dǎo)體制程的微縮和結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化,,半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的種類(lèi)和技術(shù)難度遞增,。從市場(chǎng)來(lái)看,晶圓清洗設(shè)備,,刻蝕機(jī)尤其是介質(zhì)刻蝕機(jī),,是我國(guó)比較具優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,常州晶圓,,也是國(guó)產(chǎn)替代占比較高的重要半導(dǎo)體設(shè)備之一,。
led照明納入節(jié)能計(jì)劃
-今年調(diào)整「節(jié)能產(chǎn)品惠民工程」補(bǔ)充,首度將led照明產(chǎn)品納入,,未來(lái)可望會(huì)加速led照明,,包括晶電、億光,、東貝,、艾笛森、新世紀(jì)等led廠將會(huì)受惠,。
中國(guó)在節(jié)能減碳的政策又有新的方向,,今年年初-、修改「節(jié)能產(chǎn)品采購(gòu)實(shí)施意見(jiàn),,調(diào)整「節(jié)能產(chǎn)品惠民工程」補(bǔ)貼,,這項(xiàng)新政策2月才出爐,未來(lái)將會(huì)把led照明產(chǎn)品納入其中,,保守預(yù)估這至少千億元以上的商機(jī),。
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