殘留的光刻膠,、樹脂,、殘留物和其他有機污染物暴露在等離子體中,清洗機 slc (100)可以在短時間內去除,。等離子表面清洗和表面改性等離子表面處理利用等離子的特性對待處理固體原料的表面進行清洗、活化和激發(fā),,去除表面的微觀結構,、化學性質和能量。目的是改變,。等離子體是一種高能,、不穩(wěn)定的狀態(tài)。等離子體以各種方式用于利用這種高能量和不穩(wěn)定性,。
以前傳統(tǒng)的浸洗,、刷洗、壓力沖洗,、振動清洗和蒸氣清洗,,這些清洗方法都很容易破壞半導體表面,顯影腐蝕臺,,而且半導體制程中重復次數多的工序,,清洗效果的好壞較大程度的影響芯片制程及積體電路特性等問題。在所有的清洗方式中超聲波清洗機對半導體的清洗效率好,、效果好的一種,,之所以超聲波清洗能夠達到如此的效果是與它的工作原理和清洗方法密切相關的。我們知道,,半導體外形比較復雜,,孔內小,利用超聲波清洗機的高清潔度,,得益于其聲波在介質中傳播時產生的穿透性和空化沖擊疚,,顯影設備,所以很容易將帶有復雜外形,,內腔和細空清洗干凈,,在超聲波作用下只需兩三分鐘即可完成,吉安顯影,其速度比傳統(tǒng)方法可提高幾倍,,甚至幾十倍,,清潔度也能達到高標準,提高了對半導體的生產效率,,顯影清洗,,更-顯示了用其他處理方法難以達到或不可取代的結果。
nd-0105吊臂式超聲波清洗機,,是由上料,、超聲初洗、超聲波清洗,、市水超聲漂洗,、噴淋漂洗、熱風烘干,、下料等七個工位組成的一條吊臂式超聲波清洗機,,其工作原理是利用超聲波空化滲透力強的機械振動沖擊工件表面并結合溶劑型清洗劑的化學除油、去污作用使工件表面潔凈,;同時結合熱風烘干等工藝,,使工件從清洗到潔凈一次完成。
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