普通的清洗方法一般不能達(dá)到孔內(nèi),，而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會(huì)在后序工藝中會(huì)產(chǎn)生重復(fù)污染。無論是采用清洗液清洗都容易引入新的污染源,，然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實(shí)現(xiàn)無重復(fù)污染,，而且能深入mcp孔內(nèi)的效果,。對不同材料及孔徑的mcp應(yīng)采用頻率、聲強(qiáng)可調(diào)的超聲波進(jìn)行實(shí)驗(yàn),，以確定實(shí)際工藝參數(shù),。對孔徑6~12μmmcp的清洗,，當(dāng)媒液為水和-時(shí),，可采用空化閾約1/3 w/cm2，聲強(qiáng)10~20 w/cm2,，頻率20~120 khz的超聲波進(jìn)行清洗,。表1是同一段不同板號的mcp采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測試結(jié)果。由檢測結(jié)果可見,，對1μm以下的小顆粒污染物,，應(yīng)選用頻率40 khz以上的超聲波進(jìn)行清洗。
設(shè)備特點(diǎn)：
1本設(shè)備為吊臂式全封閉式,、全自動(dòng)化,、超聲波清洗機(jī)，過程為人機(jī)界面一體化,。
2槽體及副槽使用sus304 2mm材質(zhì),，石英爐管清洗機(jī)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定牢固,，運(yùn)行安全,，使用-，在槽體接口銜接處進(jìn)行緊密的結(jié)合。
3針對所清洗產(chǎn)品的特點(diǎn),，淮安石英爐管,，超聲波采用下輻射清洗，發(fā)生器采用功率模塊電源,，具有掃頻,、頻率-功能，以達(dá)到比較佳清洗效果
以前傳統(tǒng)的浸洗,、刷洗,、壓力沖洗、振動(dòng)清洗和蒸氣清洗,，這些清洗方法都很容易破壞半導(dǎo)體表面,，而且半導(dǎo)體制程中重復(fù)次數(shù)多的工序，清洗效果的好壞較大程度的影響芯片制程及積體電路特性等問題,。在所有的清洗方式中超聲波清洗機(jī)對半導(dǎo)體的清洗效率好,、效果好的一種，之所以超聲波清洗能夠達(dá)到如此的效果是與它的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的,。我們知道,，半導(dǎo)體外形比較復(fù)雜，孔內(nèi)小,，利用超聲波清洗機(jī)的高清潔度,，得益于其聲波在介質(zhì)中傳播時(shí)產(chǎn)生的穿透性和空化沖擊疚，所以很容易將帶有復(fù)雜外形,，內(nèi)腔和細(xì)空清洗干凈,，在超聲波作用下只需兩三分鐘即可完成，其速度比傳統(tǒng)方法可提高幾倍,，石英爐管腐蝕設(shè)備,，甚至幾十倍，清潔度也能達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn),，提高了對半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率,，更-顯示了用其他處理方法難以達(dá)到或不可取代的結(jié)果。
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