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在高真空抽氣過程的起始階段,，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內(nèi)表面會(huì)吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來,。這種效應(yīng)在無閥門的系統(tǒng)中更為明顯,，因?yàn)樗�可能比未暴露在壓力高�?50pa的空氣環(huán)境的有閥門的系統(tǒng)吸附更多的水蒸氣。系統(tǒng)停機(jī)時(shí),，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話,，還要將冷阱加熱,。在冷阱達(dá)到平衡溫度后，關(guān)掉前級(jí)管道閥,，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源,，使分子泵的轉(zhuǎn)子減速。

一般來說,，泵轉(zhuǎn)子完全停止需要十分鐘或更長的時(shí)間,。在分子泵轉(zhuǎn)子減速期間，來自前級(jí)管道的碳?xì)浠�合物和渦輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì)迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區(qū)域擴(kuò)散,。為了防止機(jī)械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流,，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源后，愛發(fā)科進(jìn)口泵保養(yǎng)要多少錢,，要用一股干燥的反向氣流對(duì)分子泵進(jìn)行放氣,。

例如，應(yīng)該在泵轉(zhuǎn)子速度下降到很大轉(zhuǎn)速的50%左右時(shí),，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉(zhuǎn)子組件上部連續(xù)充入氣或氮?dú)�,，直到泵�?nèi)壓力達(dá)到-壓。通過從閥門3見圖1充入氣體就可適當(dāng)?shù)赝瓿蛇@一操作,。當(dāng)渦輪分子泵以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),，不應(yīng)經(jīng)常充入壓力為-壓的氣流。這樣做對(duì)軸的壽命是不利的,。當(dāng)前級(jí)管道閥關(guān)閉后,，即可關(guān)掉機(jī)械泵系統(tǒng)，并用放氣閥對(duì)機(jī)械泵內(nèi)進(jìn)行放氣。停機(jī)后應(yīng)立即關(guān)掉冷卻水以防止內(nèi)部冷凝,。在正常工作時(shí),，可把水溫調(diào)節(jié)到略高于來消除泵體外部可能形成的冷凝物。

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有防護(hù)網(wǎng)保護(hù)，為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi),？原因：防護(hù)網(wǎng),，前級(jí)管道解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)6、真空度-的情況下,，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道,？原因：油池或密封-解決方法：檢查油池7、正常使用下,，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形原因：過熱,，負(fù)載大解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

分子泵中經(jīng)常掉出頂絲,、鏍釘?shù)任矬w,，如m5的頂絲等，請(qǐng)問是否對(duì)分子泵的使用有影響,？應(yīng)如何解決,？原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘,，對(duì)分子泵沒有影響,。解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘,，對(duì)分子泵沒有影響,。9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,，使用才安全,？答：不作特殊限定，至少3個(gè),，按照法蘭大小可選3,、6、12,、24等,。

、變頻器電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或者錯(cuò)亂,？答：電壓不穩(wěn)強(qiáng)干擾高壓打火認(rèn)為11,、分子泵噪音大如何界定,？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少,？答：小于72db合格,，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測(cè)試環(huán)境12,、分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求,？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對(duì)水有何具體要求,？如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果,？答：注意水溫和水流量，冷卻-會(huì)導(dǎo)致無故停機(jī),、碎泵,、油變黑等。

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