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菲林在使用中需注意的事項

激光照排菲林中含有防光暈層,，在定影、水洗的過程中有一些會脫落,，在片基上形成淡藍色的水斑,，可在定影液中加入適量的堅膜劑消除。水洗槽要經(jīng)常保持清潔,，每天在工作結(jié)束后要將水槽中的水放掉,，用干凈的紗布擦干。每次加水之前要先將水放掉一些以除掉水銹,，每周至少要堅持清洗水輥一次,。

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接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實際掩模的尺寸相同,。i在襯底上形成的圖案是1∶1,，并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式-i光線；另一方面，縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實際尺寸,。i在襯底上形成的圖案的幾次通過光學(xué)系統(tǒng)投影模式-i光明,。