流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量計(jì)的功能,，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量,，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,，mfc自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值,。流量控制器mass flow controller縮寫為mfc用于對(duì)于氣體或者液體的流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,，氧化,，分子束外延，cvd，等離子刻蝕,，濺射,，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備,，光纖熔煉,，微反應(yīng)裝置，流量計(jì)算器,，混氣配氣系統(tǒng),，流量計(jì)算器價(jià)格，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中,。并廣泛用于石油化工。冶金,，制藥等,。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好,。
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流量控制器， 即mass flow controller縮寫為mfc,， 不但具有流量計(jì)的功能,，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量,，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,，mfc自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值,。
由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會(huì)發(fā)生超調(diào)，流量計(jì)算器,，所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時(shí)間作為設(shè)備響應(yīng)速度,，并賦予波形振蕩幅度一個(gè)容許范圍。舉個(gè)例子,， 容許范圍2%表示流量波動(dòng)在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定,。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴(kuò)大到10%,。我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi),。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時(shí)到達(dá)了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍,。
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