kuroda黑田精工nanometro? tt 系列表面形狀測量裝置

超精密表面形狀測量裝置,，nanometro? tt 系列，nanometro? 300pt,，超精密平面度測量裝置sf-640m,，nanometro? fr系列

產(chǎn)品介紹

nanometro tt系列是垂直旋轉(zhuǎn)/邊緣夾持型晶圓平整度測量裝置。邊緣排除為 1mm,，并且可以使用盒到盒進行-自動測量,。此外，評估項目符合semi標準,。

nanometro? 300pt

用于成膜過程控制和夾緊過程平面度控制

水平旋轉(zhuǎn),、真空吸盤式φ300mm晶圓表面形狀檢查裝置。

邊緣排除為 1mm,�,？梢灾鸷羞M行 sori、平面度等-自動測量,。

nanometro? f 系列

-測量晶圓,、fpd玻璃基板等的表面形狀。

采用高剛性的-空氣平臺,，可-測量晶圓,、fpd玻璃基板、大型陶瓷平臺,、精密工作臺等大型元件的表面形狀,。通過簡單的操作即可輸出從表面形狀分析評價到粗糙度評價等各種數(shù)據(jù)。

“超精密平面度測量裝置sf-640m”是作為精密平面磨床加工的模具等工件的精度評價系統(tǒng)而開發(fā)的,。本機應(yīng)用了作為本公司的硅晶片用超精密測量裝置的「納米metro」的技術(shù)和經(jīng)驗技術(shù),，使平面和邊緣的-的評價成為可能，用鳥瞰圖和斷面圖,，切割機aplc系列,，等高線等各種各樣的形式評價平面形狀。

nanometro? fr 系列

陶瓷板等平面度的-測量

配備旋轉(zhuǎn)氣動工作臺,，可測量直徑達 1000mm 的圓盤表面形狀,，例如用于晶圓拋光的陶瓷板和研磨臺。我們提供支持各種測量的軟件，包括用于詳細評估的同心測量和用于粗略評估的徑向測量,。

hitachi日立產(chǎn)機ebs-f80h能量回收裝置

能量回收裝置,，微型水電，apl-3040p-wp-c2,，ebs-f80h,，ebs-f80m，ebs-f80l,，ebs-f125h,，ebs-f125m

產(chǎn)品介紹

“能量回收裝置”通過根據(jù)有效水頭優(yōu)化控制水輪機轉(zhuǎn)速，實現(xiàn)能量回收,，并且采用直列式水輪機集成發(fā)電機,，可安裝在中間位置。實現(xiàn)了配管的緊湊化和緊湊化,。

這是一款的產(chǎn)品,，結(jié)合了我們的流體技術(shù)、電機和控制技術(shù),，可減輕環(huán)境負擔(dān),，并實現(xiàn)未使用能源的高度回收。

特征

1. ,，能量回收率約60%

例如,，有效揚程為35m，流量為2.8m3 / min時,，輸出功率為9kw ,。能量回收率max 59%

2. 由于電力輸出，可以處理各種負載

對于由逆變器驅(qū)動的設(shè)備,，直流電從控制器傳輸?shù)侥孀兤�,。還可以通過并網(wǎng)裝置傳輸單相200v和三相200v交流電,。

3. 根據(jù)水頭和流量,，甚至可以回收更多的電力。

根據(jù)建筑物和設(shè)備位置的高度,、水頭和流量,，可以回收更多的電力。若水輪機高層,、揚程大,，可串聯(lián)運行，若流量大,，可并聯(lián)運行3kw機型,，視規(guī)模而定。

4.可以以節(jié)省空間的方式安裝

主機體積小,、重量輕,，水輪和發(fā)電機合二為一,。直列式設(shè)計允許安裝在管道中間，輕型加工切割機s-200,，即使在狹窄的空間也可以安裝,。

5.也可提供旁路管道可選

即使在水輪機/發(fā)電機本身的維護期間，由于安裝了旁路管道,，運行也不存在問題,。

用途

適用于建筑空調(diào)蓄熱式冷熱水供應(yīng)循環(huán)。

用于工廠冷卻水系統(tǒng)

適用于酒店和學(xué)校的空調(diào)系統(tǒng)

適用標準

(1) 使用環(huán)境

環(huán)境溫度：0~40℃無結(jié)冰

環(huán)境濕度：20~85%無凝露

(2) 使用條款

水質(zhì)：相當(dāng)于自來水 ph 6-8可混入防凍劑

液體溫度：0-80℃

(3) 安裝位置

室內(nèi)或安裝棚內(nèi)防雨/防風(fēng)