羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子,，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙,。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡�,。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,，把動量傳輸給氣體或氣體分子,，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?/dv>分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮,、排氣的一種真空泵,。

真空系統(tǒng)常用名稱主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,，如真空鍍膜機中的油擴(kuò)散泵就是主泵,。前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵,。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。粗抽泵：從-壓下開始抽氣,，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵,。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵,。