使用方法該設(shè)備操作簡單,易于上手,,具體操作如下:
一,、-前準(zhǔn)備工作
1,、硅片處理:-待-硅片經(jīng)過勻膠處理,,表面干凈平整,,su8模具加工設(shè)備,,沒有明顯的污漬或破損,。
2,、選擇光刻板:根據(jù)項(xiàng)目需要,,選擇合適尺寸的光刻板,本設(shè)備兼容4英寸,、5英寸或6英寸,。
3,、設(shè)備檢查:仔細(xì)檢查設(shè)備,,-所有部件處于正常工作狀態(tài),-操作環(huán)境-,。
頂旭蘇州微控技術(shù)有限公司是一家-于微流控領(lǐng)域的-企業(yè),,我們致力于為客戶提供微流控芯片定制,、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備,、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。
-操作步驟
1,、安裝硅片:將待-硅片平放在設(shè)備的載臺(tái)上,,-位置準(zhǔn)確,。
2、放置光刻板:將光刻板平放在硅片上方,,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩(wěn),。
3,、設(shè)定-參數(shù):使用控制面板設(shè)置-時(shí)間和強(qiáng)度,根據(jù)具體需求進(jìn)行調(diào)整,。
4,、啟動(dòng)-:確認(rèn)參數(shù)設(shè)定無誤后,-啟動(dòng)按鈕,,設(shè)備將開始進(jìn)行-,。
5、監(jiān)控-過程:在-過程中,,您可以通過設(shè)備界面監(jiān)控-進(jìn)度,-一切順利進(jìn)行,。
6,、-完成:-結(jié)束后,設(shè)備會(huì)發(fā)出提示,,su8模具加工設(shè)備,,取出硅片和光刻板。
頂旭桌面微型光刻機(jī),,專為微米級(jí)圖案制作而設(shè)計(jì),,旨在保障卓yue的圖形轉(zhuǎn)移精度。設(shè)備采用紫外led冷光源,,su8模具加工設(shè)備作用,,結(jié)合雙非球面石英透鏡,,可生成半角<2°的平行光,相較傳統(tǒng)接觸式-機(jī),,其極zhi緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,,為操作提供了便利與精zhun。
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