沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,，鈣鈦礦鍍膜設(shè)備供應(yīng),，我們公司堅(jiān)持用戶為-,，想用戶之所想，急用戶之所急，以誠(chéng)為本，講求信譽(yù),，以產(chǎn)品求發(fā)展，鈣鈦礦鍍膜設(shè)備價(jià)格,，以求生存,，我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)。
工作真空6*10 -4 帕
恢復(fù)工作真空時(shí)間：連接手套箱≤10分鐘
不連接手套箱,，充干燥氮?dú)狻?0分鐘
本套設(shè)備配有8個(gè)有機(jī)源及2個(gè)金屬源
金屬蒸發(fā)源和有機(jī)蒸發(fā)源可按客戶要求配置
膜厚探頭及膜厚儀有國(guó)產(chǎn)或者進(jìn)口可選
金屬蒸發(fā)源配有1000w電源
有機(jī)蒸發(fā)源配有可控溫電源,，控溫精度±1℃
主要用途：
---適合opv/鈣鈦礦/無(wú)機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體,、有機(jī)el,、oled顯示研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。
系統(tǒng)組成:
主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng),、樣品臺(tái)系統(tǒng)、 真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、膜厚測(cè)試 系統(tǒng),、電控系統(tǒng)組成,。
技術(shù)指標(biāo)：
---真空度6.7×10-5pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7pal/s,； 恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.6×10 pa短時(shí)間暴露 ---并充干燥氮?dú)夂箝_(kāi)始抽氣
樣品臺(tái)：尺寸為4英寸平面樣品；
蒸發(fā)源：3套
4套擋板系統(tǒng)：擋板共有3套,，動(dòng)密封手動(dòng)控制,；
氣路系統(tǒng):流量控制器1路
石英晶振膜厚控制儀：膜厚測(cè)量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)
parylene用---的真空氣相沉積工藝cvd技術(shù)制備,，由活性小分子在基材表面生長(zhǎng)出完全敷形的聚合物薄膜涂層,，它能涂敷到各種形狀的表面，上海鈣鈦礦鍍膜設(shè)備,，包括尖銳的棱邊，號(hào)稱無(wú)孔不入可深入裂縫里和內(nèi)表面,。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻,、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力,、不含助劑、不損傷工件,、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今的防潮,、防霉零級(jí),、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層,。parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護(hù)性能基礎(chǔ)上,，尤其還具有---的生物兼容性,，生物穩(wěn)定性,，并有優(yōu)異的自潤(rùn)滑性，涂層均勻可控性,，以及好的物理機(jī)械性能。
1.一腔體,，采用sus304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm,，腔體設(shè)有觀景窗,， 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開(kāi)閉,。
2. 旋轉(zhuǎn)平臺(tái),，鈣鈦礦鍍膜設(shè)備,，可承載重量: 20公斤，旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm,。
3. 油式泵浦,，抽氣速度 ≧ 200l/min ; 壓力 ≦ 5*10-3torr,。
4. 控制系統(tǒng),，采用具pid功能之溫控模塊及-溫度傳感器,，系統(tǒng)可進(jìn)行自動(dòng)或半自動(dòng)(溫控/真空)操作,，并可儲(chǔ)存與選擇recipe ,。
5. 附屬冷凝機(jī),，溫度 ≦ -90℃
期望大家在選購(gòu)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品時(shí)多一份細(xì)心,，少一份浮躁,，不要錯(cuò)過(guò)細(xì)節(jié)疑問(wèn),。想要了解更多電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關(guān),，歡迎撥打圖片上的熱線電話�,。�,！
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