準:
氣體流量用氮氣(n2) 定,。 準狀態(tài)規(guī)定為:
準溫度………………0℃27-k
準壓強………………101325pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15v,50ma,-15v,200ma
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00v
輸出電壓檢測…………0~+5.00v
產(chǎn)品技術(shù)指
型號
d07-7
類號
b
c
k
km
bm
cm
流量規(guī)格n2
(0~5,,10,20,,30,,50,100,,200,,300,500)sccm
(0~1,,2,,3,5,,10)slm
(0~20,,30,50,,100,,200,300,,500)sccm
(0~1,,2,3,,5,,10)slm
準確度
&plun;1.5%f.s.
&plun;1%f.s.
線性
重復精度
&plun;0.2%f.s.
響應(yīng)時間
≤10sec
≤4sec
閥類型
常閉normally closed
無no valve
工作壓差范圍
0.1~0.5mpa
<0.01 mpa
耐壓
pa
漏率
1×10-8atm·cc/sec he
密封材料
橡膠viton;丁橡膠neoprene
工作環(huán)境溫度
5~45℃
輸入
0~5vdc
—
輸出
電源
+15v 50ma
-15v 200 ma
-15v 50 ma
電插頭形式
db15 pin(female)
氣接頭形式
compression fittingφ3;compression fittingφ6 ;compression fittingφ8;compression fitting1/8”;
compression fitting1/4”;vcr1/4”;φ6hose;φ4hose;
抗電磁干擾
ce
重量
1.1kg
0.92 kg
產(chǎn)品詳細介紹:
氣體流量用氮氣(n2) 定。 準狀態(tài)規(guī)定為:
輸入電源………………24vdc,400ma
輸入設(shè)定電壓…………4~20ma(或1~+5vdc)
輸出電壓檢測…………4~20ma
滿量程流量范圍n2)
5sccm~30slm
控制范圍
2~100%f.s.
閥類型閥初始狀態(tài)
電磁調(diào)節(jié)閥常閉
≤20slm
20~30slm
&plun;2%f.s.
<20slm
&plun;0.5~1%f.s.
工作溫度范圍
工作壓差
≤10slm
>10slm
0.1~0.pa
漏氣率
1×10-9sccshe
橡膠,、聚四乙烯,、丁橡膠
接頭選擇
vcr
1/4”或φ4hose、φ6hose
swagelok
1/8”,、1/4”或φ3、φ6mm
db15 pin(male)
1.8kg
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