parylene優(yōu)異化學(xué)惰性和阻隔性能
對(duì)傳感器的防酸、堿和及對(duì)水汽和鹽霧等-環(huán)境有---的阻隔防護(hù)能力,。
parylene優(yōu)良的物理機(jī)械性能
parylene的拉伸強(qiáng)度和屈服強(qiáng)度都-,，對(duì)微型電路保護(hù)方---有明顯的優(yōu)勢(shì)，parylene可在微細(xì)小的線路表面形成完整的涂層,，大大加強(qiáng)上述較脆弱部位的連接強(qiáng)度,。在學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。
parylene適用于各種傳感器的防護(hù)(汽車用,、腐蝕環(huán)境用,、生物醫(yī)學(xué)用、聲學(xué)等),。目前亦導(dǎo)入半導(dǎo)體晶圓封裝等制程,。
美國---真空公司所制造的不導(dǎo)電膜鍍膜設(shè)備是新技術(shù)、新產(chǎn)品,、新工藝層出不窮,，其產(chǎn)品價(jià)值高，parylene涂層服務(wù),，市場(chǎng)潛力大,，盈利空間大，將逐步替換傳統(tǒng)電鍍產(chǎn)業(yè)而成為主流的塑料類產(chǎn)品表面處理技術(shù),，parylene防腐涂層,， 將為企業(yè)和社會(huì)帶來明顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備運(yùn)行與維護(hù),。 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備工作方式就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā),、升華,，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝.在真空條件下成膜可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,，減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)如氧化等,，以及減少成膜過程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量，parylene,，從而提供膜層的致密度,、純度,、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內(nèi)壓力等于或低于10-2pa,，對(duì)于蒸發(fā)源與基板距離較遠(yuǎn)和薄膜要求-的場(chǎng)合,，則要求壓力-。
一,、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜：
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,，并且沉降在基片表面，通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜,。
厚度均勻性主要取決于：
1,、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3,、蒸發(fā)功率,，速率
4、真空度
5,、鍍膜時(shí)間,，厚度大小。
組分均勻性：
蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易-,，具體可以調(diào)控的因素同上,，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜,，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好,。
晶向均勻性：
1、晶格匹配度
2,、基片溫度
3,、蒸發(fā)速率
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