：靶面金屬化合物的形成,。

由金屬靶面通過反應(yīng)濺射工藝形成化合物的過程中，化合物是在哪里形成的呢,？由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子,，通常是放熱反應(yīng)，真空電鍍機,，反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,，否則，該化學(xué)反應(yīng)無法繼續(xù)進行,。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導(dǎo),，所以，化學(xué)反應(yīng)必須在一個固體表面進行,。反應(yīng)濺射生成物在靶表面,、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進行,。

第二：靶中毒的影響因素  

影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,，反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進行過程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程,。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下,，參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加,，化合物生成率增加,。如果反應(yīng)氣體量增加過度，化合物覆蓋面積增加,，如果不能及時調(diào)整反應(yīng)氣體流量,，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進一步被化合物覆蓋,，當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時候,，靶完全中毒，在靶面上沉積一層化合金屬膜,。使其很難被再次反應(yīng),。

   電鍍就是利用電解原理在某些金屬表面上鍍上一薄層其它金屬或合金的過程，abs真空電鍍,，是利用電解作用使金屬或其它材料制件的表面附著一層金屬膜的工藝從而起到防護,、裝飾甚至賦予特殊功能等作用。

　　電鍍分為掛鍍,、滾鍍、連續(xù)鍍和刷鍍等方式,，主要與待鍍件的尺寸和批量有關(guān),。

　　掛鍍、滾鍍,、連續(xù)鍍和刷鍍的適用對象

　　(1)掛鍍是工件裝夾在掛具上,，適宜大零件，每一批能鍍的產(chǎn)品數(shù)量少,，鍍層厚度10μm以上的工藝,。如汽車的保險杠，真空uv電鍍,，自行車的車把等,。掛鍍生產(chǎn)線可以分成手動線，自動線,。

　　(2)連續(xù)鍍,，簡單來說就是一個物體不間斷的按流程進行電鍍，穿越不同的電鍍槽來完成整套的電鍍流程,，適用于成批生產(chǎn)的線材和帶材

　　(3)刷鍍是用一個同陽極連接并能提供電鍍需要的電解液的電極或刷,，在作為陰極的制件上移動進行選擇電鍍的方法，適用于局部鍍或修復(fù),。

　　(4)滾鍍通常適用于小零件,。滾鍍嚴(yán)格-講叫做滾筒電鍍，他是將一定數(shù)量的小零件置于滾筒內(nèi),、在滾動狀態(tài)下一間接導(dǎo)電的方式使零件表面沉積上各種金屬或合金鍍層,、以達(dá)到表面防護裝飾及各種功能性目的的一種電鍍加工方式,。根據(jù)滾筒使用不同，將電鍍生產(chǎn)中常見的滾鍍方式劃分為臥式滾鍍,、傾斜時滾鍍和振動滾鍍?nèi)�大類�?/p>