半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
廢氣介紹:由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求-,,通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大,、排放濃度小的特點,。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類:酸性廢氣,、堿性廢氣,、有機廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒有經(jīng)過-的處理進行排放,,將造成-的問題,,不僅影響人們的-,惡化-環(huán)境,,化工煙氣處理設(shè)備怎么賣,,造成環(huán)境污染的公害事件等,化工煙氣處理設(shè)備規(guī)格,,也會成為半導(dǎo)體制造中amc污染的重要來源,。
廢氣處理設(shè)備處理方法:依據(jù)這些廢氣的特性,在處理上采用水洗,、氧化/燃燒,、吸附、解離,、冷凝等方法,,針對不同污染物,可采取以下綜合處理方法:1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性,、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機廢氣處理系統(tǒng),。
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有機廢氣
有機廢氣的危害:在生產(chǎn)中,有機廢氣的排放一直是一個很-的問題,,絕大多數(shù)有機廢氣對人體的健康都有害,。如有機廢氣通過呼吸道和皮膚進入人體后,,能給人的呼吸、-等系統(tǒng)造成暫時性和長久的病變,,尤其是-并芘類多環(huán)芳烴能使人體直接致病,,南寧化工煙氣處理設(shè)備,危害人體健康,。
有機廢氣還會造成-的-污染,。一些有機物進入-后,在一定條件下形成光化學(xué)煙霧,,造成二次污染,;一些有機物進入平流層后,在紫外線的照射下與臭氧發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),,造成臭氧層空洞,;一些有機物具有惡臭污染和有害氣體的兩重性;還有一些有機物會引起溫室效應(yīng),。
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本產(chǎn)品利用特殊的高能高臭氧uv紫外線光束照射惡臭氣體,裂解惡臭氣體如:氨,,化工煙氣處理設(shè)備原理,,使呈游離狀態(tài)的污染物分子與臭氧氧化結(jié)合成小分子無害或低害的化合物,如co2,、h2o等,。
利用高能高臭氧uv紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧,即活性氧,,因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合,,進而產(chǎn)生臭氧。
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