電源供應(yīng)裝置通過(guò)一升降機(jī)構(gòu)安裝在機(jī)座上并與控制裝置電連接,；所述整體測(cè)量機(jī)構(gòu)包括一安裝在機(jī)座上的驅(qū)動(dòng)電機(jī),、一連接在驅(qū)動(dòng)電機(jī)上的傳動(dòng)軸及一安裝在傳動(dòng)軸的一端的接地端；所述擇點(diǎn)測(cè)量機(jī)構(gòu)包括一安裝在機(jī)座上的---驅(qū)動(dòng)電機(jī),、一對(duì)安裝在所述---驅(qū)動(dòng)電機(jī)上的---傳動(dòng)軸,、一安裝在機(jī)座上并與所述---傳動(dòng)軸平行的滑軌及若干安裝在滑軌上的測(cè)點(diǎn)探針。

金屬靶材材質(zhì)分為：

鎳靶,、ni,、鈦靶、ti,、鋅靶,、zn、鉻靶,、cr,、鎂靶、mg,、鈮靶,、nb、錫靶,、sn,、鋁靶、al,、銦靶,、in、鐵靶,、fe,、---鋁靶、zral,、鈦鋁靶,、tial、---靶,、zr,、鋁硅靶、alsi,、硅靶,、si,、銅靶cu、鉭靶t,、a,、鍺靶、ge,、銀靶,、ag、鈷靶,、co,、金靶、au,、釓靶,、gd、---靶,、la,、釔靶、y,、鎢靶,、w、不銹鋼靶,、鎳鉻靶,、nicr、鉿靶,、hf,、鉬靶、mo,、鐵鎳靶,、feni、鎢靶,、w等,。