首先我們了解一下玻璃器皿全自動清洗的意義是什么,？ 1、玻璃器皿的標準化的清洗處理,，可以-清洗潔凈度統(tǒng)一,，有效避免人為操作產(chǎn)生不確定因素。 2,、全自動清洗易于潔凈度驗證和保存記錄,，往復(fù)式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機，便于追溯管理,。 3,、機器自動化運行可以降低工作人員風險，有效避免人員在手工清洗過程中造成傷害或,。 4,、清洗、消毒,、干燥都是全自動完成,，減少了設(shè)備和人工投入，高壓噴淋旋轉(zhuǎn)清洗機,，節(jié)約成本,。

此方法適用于除去氧化膜或有機物,。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短，酒泉旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機,，對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好,。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護有利,。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越-,，對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益-,。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,，半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒,、有機物,、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響,，高壓清洗機旋轉(zhuǎn)噴淋,，實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進行清洗,，清洗步驟約占整體步驟的33%,。