廣州潽拓光電
boc stp-ixa3306cv渦輪分子泵維修,,愛德華stp-ixa3306cv分子泵
boc stp-ixa3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)---的性能,,可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)成熟的 stpixa3305 系列的新技術(shù)。
boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度,,潽拓普發(fā)分子泵維修報價,,也等于boc stp-ixa3305 系列不帶其電源供給 (ips-1200)的高度。 這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案,。高速排氣性能:在微漏模式下的排氣速度達(dá)到5l/s采用與本體獨立的平板觸摸屏顯示器:搭載無線控制。
boc stp-ixa3306分子泵特性與優(yōu)勢:
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程
緊湊型設(shè)計,,包括完全集成的控制器
---性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
boc stp-ixa3306分子泵用途:
濺射
離子注入源,,射束線泵送和站
金屬鋁、鎢和電介質(zhì)氧化物以及多晶硅等離子刻蝕氯化物,、---物
電子回旋共振 (ecr) 刻蝕
薄膜沉積 cvd,、pecvd、ecrcvd,、mocvd
廣州潽拓光電——真空計 bpg400&pcg 402 的工作原理
1,、真空計 bpg400&pcg 402 都是皮拉尼pirani真空計2,、皮拉尼pirani真空計原理低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量,。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計,。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計包括pirani真空計和熱電偶真空計,。5x105pa(10-10to1500mbar,、10-10to1125torr)。 原理
金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,,兩端連接電極,。通過電極給白金細(xì)線提供電流時,白金細(xì)線會---,,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,,白金線的熱量會被奪走。55°c單個法蘭即可實現(xiàn)從---到uhv顯---圍從5·10-9至1000hpa,。單位時間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為qg,,qr,qs,,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立
q = i2r = qg + qr + qs 1
q是單位時間細(xì)線放出的熱量,,r是細(xì)線的電阻,i是細(xì)線的電流,。 氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時,,qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
qg = αλπdat-t0p 2 t和t0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,p為氣體壓力,,a是細(xì)線長度,。 剩下的qs和qr可以分別表示如下
qs = sκt-t0/l 3 qr = πdaσεt4-t04 4 3是電極的熱傳導(dǎo),其中s是細(xì)線的斷面積,,潽拓普發(fā)分子泵維修,,κ是固體的傳導(dǎo)率,l是電極的長度,。4式代表熱輻射,,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持t和t0一定,,則3和4式為常數(shù),。但泵的重xin較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵,。如果用i02r表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,,則式1可以表示為
i2r = ap + i02r 5 a = αλπdat-t0 6 i0是壓力為0的時候細(xì)線的電流,, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失,。a式是不依存壓力的定數(shù) 如果已知細(xì)線的電阻r,電流i0及定數(shù)a,,則可以通過5式求得壓力p,。
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