(1) 流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),,壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差,;對(duì)于流量計(jì) / 流量控制器,熱式氣體流量計(jì)---,,則一般可以忽略不計(jì),。
(2) 測(cè)量控制的自動(dòng)化
流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等,。對(duì)流量控制器而言,,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,, 模擬的mfc/mfm輸入輸出信號(hào)為0~+5v或4~20ma,, 數(shù)字式mfc/mfm還配有rs232或rs485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,熱式氣體流量---產(chǎn)廠家,, 進(jìn)行自動(dòng)控制,。
(3) 地定量控制流量
流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等---有用,。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10mpa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)包括一些腐蝕性氣體,如hcl,;有很寬的流量范圍,,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm,。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。
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流量控制器的特點(diǎn)是:當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口,、出口壓差變化時(shí),通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變,。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度,、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差,。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差,,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8%,a類產(chǎn)品的誤差小于等于5%,。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計(jì)、加工和材質(zhì),。
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流量控制器可以用于控制各種氣體,,熱式氣體流量計(jì)分類,, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意,, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí),, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成---損失。
通常氣體流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316l不銹鋼,、聚四---和密封材料等,, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼,、金或鎳等耐腐蝕材料,。采用金屬密封的mfc原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體,。
由于金屬密封的mfc價(jià)格較高,, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的mfc,。如果不特殊聲明,, mfc都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,, 例如可以用于鹵族干燥氣體,。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠,。氨氣——需要采用耐氨橡膠,, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; ---化硼等——需要采用---橡膠,。
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