流量控制器可以用于控制各種氣體,, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意,, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時,, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成---損失,。
通常氣體流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316l不銹鋼,、聚四---和密封材料等,小流量氣體流量計分類,, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類,。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料,。采用金屬密封的mfc原則上可以用于任何氣體,, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體,。
由于金屬密封的mfc價格較高, 通常要求不高的場合,, 均采用橡膠密封的mfc,。如果不特殊聲明,小流量氣體流量---產(chǎn)廠家,, mfc都采用氟橡膠密封,, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體,。其它一些特殊腐蝕性氣體,, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠,, 如乙丙橡膠,、氯丁橡膠或丁晴橡膠; ---化硼等——需要采用---橡膠。
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通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的,。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器,。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,,冷卻效應越大,,小流量氣體流量計品牌,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大,。此熱傳遞正比于氣體流量,,即供給電流與氣體流量有一對應的函數(shù)關系來反映氣體的流量。
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由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度,,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍,。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定,。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之間,,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值,,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內(nèi),。如下面示波器截屏圖所示,,控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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