凈化工程解決方案：對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室(例如：生物制藥,、潔凈手術(shù)室,、無(wú)菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室,、實(shí)驗(yàn)無(wú)菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,，因?yàn)槌睗窈退�分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水,、濕膜,、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,，只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕,。

　　潔凈室中的溫濕度控制

　　潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,，應(yīng)考慮到人的舒適度感,。隨著空氣潔凈度要求的提高,，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,，但作為總的原則看,，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，無(wú)塵室,，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小,。例如在-集成電路生產(chǎn)的光刻---工藝中，無(wú)塵室工程改造,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小,。直徑100um的硅片，溫度上升1度,，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低,，因?yàn)槿顺龊挂院�,，�?duì)產(chǎn)品將有污染，-是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,，這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故,。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹,。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除,。相對(duì)濕度越高,，粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%,。