真空泵的范圍要求及工作壓強

真空泵在進行使用的過程中，其工作強度應該滿足真空設備的---真空及工作壓強要求,。如：真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級,。

正確的選擇其真空泵的工作點,，每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmhg,，在這樣寬壓強范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg,。因而,，水泵維修維保-，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmhg下長期工作,。

真空泵在其工作壓強下,，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來,，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有-的抽速,，但不能抽---,，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,，兩者組合起來,，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,，有的真空泵不能在-壓下工作,，需要預真空;有的真空泵出口壓強低于-壓，需要前級泵,，故都需要把泵組合起來使用,。

如何正確的維護真空泵

電化學清洗：將待清洗的金屬零件放在某種溶液中，并將零件接在電源的正極或負極,，另外再用某一材料制作成的極板接電源的另一極,，調(diào)節(jié)電源電壓，獲得一定電流密度,，達到去油和去除金屬表面氧化層的目的,。

酸、堿浸蝕處理：去油后進行浸蝕處理,，目的是去除金屬表面的氧化物,，經(jīng)過熱處理的零件，油污已不存在,，可直接進行浸蝕處理,，以去除退火后的氧化層。浸蝕處理一般在酸性溶液中進行,，大多數(shù)金屬的氧化物以及金屬本身都能與適當濃度的酸溶液起化學反應,，氧化物與酸反應生成鹽和水，金屬與酸作用生成鹽和氫氣,，氫氣的一部分被金屬表面吸附后,，會使某些金屬變脆，為了避免金屬變脆和過度腐蝕,，可在浸蝕液中加入緩蝕劑,，并適當控制浸蝕溶液的的濃度及溫度,。

超聲波清洗：超聲波清洗的原理是利用它所造成介質(zhì)的“空隙現(xiàn)象”，即超聲波的振動引起清洗介質(zhì)疏密變化而達到清洗目的,。振動使介質(zhì)時而稀疏,，時而閉合，稀疏時形成瞬時的空隙,；閉合時產(chǎn)生瞬時沖擊力可達到幾個-壓,，這個-的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中,。