分子泵

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,，尤其是濺射,、刻蝕和lcvd等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng),。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板,，稱之為低溫分子泵,，愛德華e2m40真空泵銷售，水蒸氣被低溫板捕獲,，昆山真空泵銷售,，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,，既提高了生產(chǎn)效率又---了膜層,。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn),。首先，分子泵要從小到大建立完整系列,，愛德華e2m175真空泵銷售,，以滿足不同場(chǎng)合的需要。

氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,，有以下幾種型式,。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑如多孔物質(zhì)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金,。升華泵即屬于這種形式,。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的,。它有如下幾種型式,。