無油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ),、共性問題,，水環(huán)式真空泵廠家，國內(nèi)很多企業(yè)也啟動了基礎(chǔ),、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無油真空泵的探索,，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù),、激勵機(jī)制,、技術(shù)推廣、市場開拓規(guī)劃的調(diào)整等,，這些舉措都為鋪展市場做好了基礎(chǔ),。

無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動等基礎(chǔ)性,、共性問題,，xd真空泵供應(yīng)，還使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低,。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中,，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題,，而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn),。為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子,，還要在系統(tǒng)運(yùn)行中，定期清洗除油,，增加了成本運(yùn)行,。因此，無油渦旋真空泵確實(shí)具有未來深廣的發(fā)展前景,，是著重商業(yè)化的對象,。

國內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測試行業(yè)迫切需要無油污染的真空環(huán)境,，無油真空泵的研發(fā)不僅推動了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì),，單旋片真空泵,，還為我國其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動了整個真空獲得行業(yè)的能力和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),。

真空泵故障檢測方法

真空泵漏油,、噴油

　　(1)轉(zhuǎn)軸、油窗,、放油孔,、油箱等部位的密封圈毀壞或裝置不正確。應(yīng)細(xì)心反省并調(diào)換玻損的密封圈,，裝置螺時,，使勁要平均，

　　(2)因先后端面不平坦或端板未壓緊,，形成端面漏油,。應(yīng)將端面修平并壓緊先后端板；

　　(3)進(jìn)氣口壓強(qiáng)太高,。應(yīng)想法削減進(jìn)宇量,，

　　(4)箱體有漏孔。應(yīng)反省謂孔部位并堵死,，

　　(5)油量過量發(fā)生噴油,，應(yīng)放出過剩的油，

　　(5)排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反惹起噴油,，應(yīng)從新裝擋油網(wǎng),；

　　(7)忽然-惹起噴油。應(yīng)立即封閉低真空閥,。