無油真空泵在購買時(shí)需要注意什么呢？一般我們在購買的時(shí)候不怎么注意無油真空泵的選型,，但是這往往會(huì)導(dǎo)致后期會(huì)產(chǎn)生各種麻煩等等,。所以下面我們就來詳細(xì)介紹下在選擇無油真空泵時(shí)需要注意什么。

1,、正確地組合無油真空泵,。由于無油真空泵有選擇性抽氣，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有---的抽速,，但不能抽---，而三極型濺射離子泵,，或二極型非對稱陰極濺射離子泵對有一定的抽速,，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度,。另外,，有的無油真空泵不能在---壓下工作,，需要預(yù)真空；有的無油真空泵出口壓強(qiáng)低于---壓,，無油雙級節(jié)能真空泵企業(yè),，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用,。

2,、無油真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,，同時(shí)又能夠長期穩(wěn)定的運(yùn)行,，延長真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本,，---生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率,，---設(shè)備產(chǎn)能。

在cvd,、pecvd,、ald等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝,，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶,，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積,，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪,、轉(zhuǎn)子等卡滯,，無油雙級節(jié)能真空泵優(yōu),，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會(huì)造成真空泵的的損壞,，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴,，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的,。