在激光切割過(guò)程中,，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對(duì)象表面之間相對(duì)位置發(fā)生變化的因素有很多,，有被加工工件表面凸凹不平,、工件裝夾方式、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形,、工件在加工過(guò)程中的熱變形等都會(huì)造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置編程位置發(fā)生偏差,。有些誤差如機(jī)床的幾何誤差具有規(guī)律性，這可以通過(guò)定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償,，但有些誤差為隨機(jī)誤差,，只能通過(guò)在線(xiàn)檢測(cè)和控制來(lái)消除，這些誤差是：

1,、工件幾何誤差

激光切割的對(duì)象為板材或覆蓋件型零件,，由于各種原因的影響，使加工對(duì)象表---有起伏不平,，且在切割過(guò)程中的熱效應(yīng)的影響也會(huì)產(chǎn)生薄板零件的表面變形,，對(duì)于激光加工，覆蓋件在壓制成型過(guò)程中也會(huì)因產(chǎn)生表面的不平,，所有這些,，都會(huì)產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對(duì)象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化。

2,、工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差

激光切割加工的工件是放在針狀工作臺(tái)上,，由于加工誤差、長(zhǎng)時(shí)間與工件之間的磨損和激光的,，針床會(huì)出現(xiàn)凸凹不平,，這種不平也會(huì)產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。

3,、編程產(chǎn)生的誤差

在激光切割加工過(guò)程中,，在復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過(guò)直線(xiàn)、圓弧等擬合的,，這些擬合曲線(xiàn)和實(shí)際曲線(xiàn)存在一定誤差,，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對(duì)象表面的相對(duì)位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差。而有些示教編程系統(tǒng)也會(huì)引入一些偏差,。

激光焦點(diǎn)位置檢測(cè)與控制是激光切割加工的關(guān)鍵技術(shù)之一,，對(duì)于快速切割加工，焦點(diǎn)位置檢測(cè)精度和快速性將直接影響到焦點(diǎn)位置的控制精度和加工，電容傳感器具有檢測(cè)靈敏度高,、響應(yīng)快速的優(yōu)點(diǎn),，可以通過(guò)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的線(xiàn)性化來(lái)克服其非線(xiàn)性。

通過(guò)特殊的傳感器結(jié)構(gòu)來(lái)消除加工過(guò)程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響,，從而提高了其在激光切割加工系統(tǒng)中的使用效果,。