淺析硅片拋光機(jī)的兩種拋光方式硅片拋光機(jī)如何解決這個矛盾的的辦法就是把拋光分為兩個階段進(jìn)行,。粗拋目的是去除磨光損傷層，這一階段應(yīng)具有拋-率,，粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,，不過也應(yīng)當(dāng)盡可能小,；其次是精拋(或稱終拋),，其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到,。硅片拋光機(jī)不是碾除整體的糠層,，是通過碾除細(xì)微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉細(xì)粒，拋光機(jī)拋光和碾白從工作方面比較存在著很大的差別,，拋光機(jī)拋光壓力很低,，拋光機(jī)拋光米粒的時候流體密度很小，拋光時米粒離開鐵輥的速度很快,，而且拋光機(jī)單位產(chǎn)量拋光運動面積很大,。

研磨機(jī)變速控制方法的三個階段研磨機(jī)是用于超研磨加工的設(shè)備，在提高我國的研磨技術(shù)具有重要的發(fā)展意義,。像東研研磨機(jī)主要分兩大類,，一類是單面研磨拋光機(jī)，另一類是雙面研磨拋光機(jī),，這兩者的差別在于單面和雙面的工作性能,。研磨機(jī)的速度控制是加工過程中不可忽視的操作細(xì)節(jié)，主要分為三個階段,，下面我們就對這三個階段的變速控制進(jìn)行簡單的了解,。研磨加工的三個階段分別是開始階段、正式階段以及結(jié)束階段,。開始階段的變速控制特點是磨具升速旋轉(zhuǎn),，正式階段的變速控制特點是恒速旋轉(zhuǎn)，結(jié)束階段便是磨具降速旋轉(zhuǎn),。在研磨加工開始階段,，人為控制磨具轉(zhuǎn)速的加速度從零由慢到快地增大，當(dāng)磨具轉(zhuǎn)速升到正式研磨速度的一半時,，加速度的變化出現(xiàn)一個拐點,，控制磨具轉(zhuǎn)速的加速度由值由快到慢地減小，直到磨具轉(zhuǎn)速達(dá)到正式的研磨速度,，磨具轉(zhuǎn)速的加速度降為零,。