真空機(jī)組的特點(diǎn)及分類

工作在10-5pa以上的真空機(jī)組有擴(kuò)散泵,、分子泵真空機(jī)組和無油真空機(jī)組.該機(jī)組有如下特點(diǎn):

主泵-真空度高,，在10-7~10-8pa以上;

能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤;

主泵返流氣體的分壓力很低;

對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵，要配備足夠大的輔助泵;

要求真空室,、管道,、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小,。

(1)擴(kuò)散泵真空機(jī)組

以擴(kuò)散泵為主泵的真空機(jī)組的-真空度為10-7~10-8pa,。

為減少來自擴(kuò)散泵前級(jí)的氣體反擴(kuò)散和阻擋機(jī)械泵油的反擴(kuò)散對(duì)-真空度的影響，可在擴(kuò)散泵前級(jí)申聯(lián)一臺(tái)抽速小的擴(kuò)散泵,，以降低壓縮比,，減小反擴(kuò)散。如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱,，可進(jìn)一步降低來自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫�,，能獲得10-11pa的真空。

(2)分子泵真空機(jī)組

以分子泵為主泵的真空機(jī)組其-真空度為10-8pa,，特點(diǎn)是啟動(dòng)快,，羅茨泵維修，油的污染小,。

在機(jī)組內(nèi)增加液氮冷阱,，可以增大抽速。機(jī)械泵出口處設(shè)有水冷阱,，可以防止油蒸氣進(jìn)入系統(tǒng),。

(3)無油真空機(jī)組

不用油做工作液和不用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組稱為無油真空機(jī)組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵,、濺射離子泵等,，可得到-真空度10-7~10-8pa。與有油真空機(jī)組比較,，羅茨泵價(jià)格,，它有如下優(yōu)點(diǎn):

可獲得清潔真空、無污染源;

當(dāng)無油真空泵啟動(dòng)后,，即可隔離預(yù)抽泵;

如突然抽氣停止,，不會(huì)污染系統(tǒng);

無油、無聲,、無振動(dòng),，-了工作環(huán)境;

-真空度高，抽速大,，抽氣時(shí)間短,。

真空機(jī)組風(fēng)險(xiǎn)分析，羅茨泵,，使用真空機(jī)組需要注意什么,？

1容器炸裂

真空機(jī)組未配備排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥，可能導(dǎo)致機(jī)組內(nèi)壓力過高導(dǎo)致容器炸裂的事故發(fā)生,。

2機(jī)械傷害,、物體打擊

1真空機(jī)組工作過程中其運(yùn)動(dòng)部件，對(duì)人身可能造成擠壓,、纏繞,、引入或卷入、沖擊等危險(xiǎn),。

2真空機(jī)組零部件由于形狀因素等,，其銳邊、尖角可能對(duì)人身造成的刺傷或扎傷危險(xiǎn),。

3真空機(jī)組零部件在使用過程中,，由于松動(dòng)、脫落或折斷,、碎裂,、甩出等可能造成的沖擊、拋射危險(xiǎn),。