深圳市石金科技股份有限公司主營：石墨制品,、石墨轉(zhuǎn)子、石墨舟,、石墨氈,、石墨熱場(chǎng)、cc復(fù)合材料,、石墨材料,、石墨零件、石墨板,、vc散熱石墨模具,、vc散熱石墨治具、超薄vc散熱石墨模具,、超薄vc散熱石墨治具,，歡迎咨詢！
石墨零件具有經(jīng)過特殊加工的石墨，具有耐腐蝕,、導(dǎo)熱性好,、滲透率低等特點(diǎn)。
石墨零件的熔點(diǎn)為3850±50℃,，海南石墨零件,，沸點(diǎn)為4250℃，石墨零件銷售,，即使經(jīng)溫電弧灼燒,，石墨零件設(shè)計(jì)，重量的損失很小,，熱膨脹系數(shù)也很小,。
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停爐后一定要清理石墨零件內(nèi)的金屬殘?jiān)�,。每次使用完停爐后，都會(huì)有金屬殘?jiān)�,，石墨零件加工，要將殘�(jiān)耆謇砀蓛�,，為再次使用做好�?zhǔn)備,。
石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后,，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出,，自動(dòng)門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì),，在x軸,、y軸、z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成,。它直接影響到電場(chǎng)的分布,、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向,、膜的品質(zhì),。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的---部件,。 管式pecvd系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟---石英管中進(jìn)行沉積,。
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