集成系統(tǒng)設計

mems溫濕度傳感器集成系統(tǒng)包括三個傳感器配件部分：處理器芯片,、溫濕度傳感器以及封裝結(jié)構(gòu),。其中溫濕度傳感器對溫濕度信號進行測量，江蘇傳感器配件,，處理器將測量數(shù)據(jù)進行存儲與處理。溫濕度傳感器集成系統(tǒng)使用mems鉑電阻溫度傳感器和電容式濕度傳感器分別采樣待測環(huán)境的溫濕度,。

1)mems溫度傳感器

mems微加工工藝制備的薄膜結(jié)構(gòu)鉑電阻傳感器,。由于鉑的電阻率較高，靈敏度較好,，因此經(jīng)常作為溫度傳感器的感溫材料,。鉑電阻溫度傳感器利用金屬鉑(pt)的電阻值隨溫度的變化而變化的物理特性制成溫度傳感器，在實際測量中,，一般將電阻值轉(zhuǎn)換成電壓或電流等模擬信號的變化,，再將模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號， 后交由微處理器轉(zhuǎn)換成實際的溫度值,。

2)mems濕度傳感器采用的濕度傳感器為電容濕度傳感器,。兩側(cè)電極構(gòu)成電容極板，中間的電介質(zhì)采用濕度敏感材料,。外界環(huán)境中的相對濕度對應了空氣中的水分子的含量,，當待測環(huán)境中的相對濕度發(fā)生變化時，空氣中的水汽分子含量也會發(fā)生相應的變化,。濕度敏感材料吸收水分子后的混合物的介電常數(shù)由于空氣中的水汽分子含量不同而變化,，即混合介質(zhì)的相對介電常數(shù)與待測環(huán)境中的相對濕度相對應。