1、反應(yīng)燒結(jié)：

碳化硅陶瓷的反應(yīng)燒結(jié)法早在美國研究成功,。反應(yīng)燒結(jié)的工藝過程為：先將α-sic粉和石墨粉按比例混勻,，經(jīng)干壓、擠壓或注漿等方法制成多孔坯體,。在高溫下與液態(tài)si接觸,，坯體中的c與滲入的si反應(yīng)，生成β-sic,，并與α-sic相結(jié)合,，過量的si填充于氣孔，從而得到無孔致密的反應(yīng)燒結(jié)體,。反應(yīng)燒結(jié)碳化硅通常含有8%的游離si,。因此,，為-滲si的完全,，素坯應(yīng)具有足夠的孔隙度。一般通過調(diào)整混合料中α-sic和c的含量,，碳化硅廠,，α-sic的粒度級配，c的形狀和粒度以及成型壓力等手段來獲得適當(dāng)?shù)乃嘏髅芏取?/p>

2,、無壓燒結(jié) ：

1974年美國ge公司通過在高純度β-sic細(xì)粉中同時(shí)加入少量的b和c,，采用無壓燒結(jié)工藝，重結(jié)晶碳化硅,，于2020℃成功地獲得高密度碳化硅陶瓷,。目前,，該工藝已成為制備sic陶瓷的主要方法。 近,，有研究者在亞微米sic粉料中加入al2o3和y2o3,，在1850℃～2000℃溫度下實(shí)現(xiàn)sic的致密燒結(jié)。由于燒結(jié)溫度低而具有明顯細(xì)化的微觀結(jié)構(gòu),，碳化硅,，因而，其強(qiáng)度和韌性大大-,。

3,、熱等靜壓燒結(jié)：

近年來，為進(jìn)一步提高sic陶瓷的力學(xué)性能,，研究人員進(jìn)行了碳化硅陶瓷的熱等靜壓工藝的研究工作,。研究人員以b和c為添加劑，采用熱等靜壓燒結(jié)工藝,，在1900℃便獲得高密度sic燒結(jié)體,。更進(jìn)一步，通過該工藝,，在2000℃和138mpa壓力下,，成功實(shí)現(xiàn)無添加劑sic陶瓷的致密燒結(jié)。

4,、熱壓燒結(jié)：

50年代中期,，美國norton公司就開始研究b、ni,、cr,、fe、al等金屬添加物對sic熱壓燒結(jié)的影響,。,，也都獲得了致密sic陶瓷

以上四種燒結(jié)的碳化硅陶瓷具有各異的性能特點(diǎn)，碳化硅管,，無壓燒結(jié),、熱壓燒結(jié)和反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷對強(qiáng)酸、強(qiáng)堿具有-的抵抗力,，但反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷對hf等酸的抗蝕性較差,。