oled器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極,,薄膜的關(guān)系到器件和壽命,。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟,,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬,、鉭和鎢等材料制作,電極材料有mg/ag,、mg:ag/ag,、li/al、 lif /al等,,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬,。ito玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚,。
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手套箱是一種提供無水無氧的惰性氣體保護氣氛環(huán)境的設(shè)備,,包含惰性氣體吹掃凈化手套箱、真空手套箱和惰性氣體循環(huán)凈化手套箱,。
手套箱概念和原理早由歐美提出和研發(fā)成功的,,由于西方發(fā)達工業(yè)的化工、材料,、核工業(yè)發(fā)展比較早,,相關(guān)領(lǐng)域的新產(chǎn)品和新材料研發(fā)生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越苛刻,無法在含水含氧量高的空氣環(huán)境中進行,,空氣中的水氧等活性物質(zhì)與活潑物料反應(yīng)變質(zhì),,所以早期歐美的科研人員迫切需要設(shè)備---開發(fā)出能夠提供無水無氧環(huán)境的設(shè)備,經(jīng)過德國,、法國,、美國等的設(shè)備設(shè)備---的研發(fā)和不斷改進,以及經(jīng)驗技術(shù)積累,,逐漸完善出了循環(huán)凈化惰性氣體保護手套箱這類型的設(shè)備,,手套箱設(shè)備也逐漸廣泛大量應(yīng)用于高1端化工、能源,、材料和焊接等科研,、生產(chǎn)領(lǐng)域。
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一、水,、氧含量過高
1. 設(shè)備的使用方法是否正確,,調(diào)試期間箱體里面不能放過多的樣品,如需放入,,建議經(jīng)過干燥處理,;
2. 箱體的密閉性,包括大,、小艙的使用以及手套是否在不正確的使用下造成漏氣,;
3. 溫度對水含量有一定的影響,溫度過高水含量下降較慢,;
4. 活性炭的烘烤不也會對水造成一定的影響,;
5. 再生效果是否正常,重點檢查凈化柱再生過程中的抽真空環(huán)節(jié),,抽真空要保持2小時以上,。
二、氧含量循環(huán)時緩慢上升
1. 箱體到風(fēng)機進氣口之間有微量泄漏,,手套箱生產(chǎn)廠家,,通過分段保壓法,排除問題,;
2. 波紋管可能泄漏,;
3. 接頭可能泄漏,;
4. 凈化柱或溶劑柱可能泄漏。
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