干式真空泵:是泵內(nèi)無油(液體)密封的變形真空泵,。

　　根據(jù)配置，這類產(chǎn)品的---真空一般在0.005pa~100pa左右,，主要用于去除無油氣體的特殊工藝,。例如半導(dǎo)體、集成電路,、微電子行業(yè),。

羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個雙葉或多葉同步旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間,、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間有一定的間隙,。

　　由于普通羅茨真空不能單獨使用，所以必須配備前級泵,，可以使用往復(fù)真空泵,、油封真空泵、液環(huán)真空泵等作為前級泵,。因此,，羅茨真空泵可用于任何真空處理過程，真空度約為0.01pa~5000pa,。

安裝在泵體中的偏心轉(zhuǎn)子)有三塊葉片,，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化,。

當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大,，將氣體從進(jìn)氣口吸入,，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進(jìn)入腔泵,。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,，氣體被壓縮,。氣體在略高于---壓時經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。

4,、 選擇真空機(jī)組： (1) 當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時,，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求,。 (2) 有的真空泵不能在---壓下工作,，河北真空泵，需要預(yù)真空,；有的真空泵出口壓力低于---壓,，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用,。經(jīng)組合使用的真空泵,，萊寶d30c真空泵，我們稱之為真空泵機(jī)組,，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量,。我們應(yīng)正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求,，例如：在一般情況下羅茨－旋片機(jī)組不適用于含有較多可凝性氣體的系統(tǒng),。