空氣過濾器的選用布置和安裝方式,，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段,；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,，空氣過濾的安裝方式應簡便---，宜檢漏和更換,；中效,、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用,；阻力,、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。

路面可選用環(huán)氧樹脂環(huán)氧地坪或高級耐磨損塑膠地板,，天津芯片廠凈化,，有抗靜電規(guī)定的，可采用抗靜電型,。送回風管道用熱鍍鋅板做成,，天津芯片廠凈化車間施工，貼清潔隔熱保溫---的阻燃塑料pf聚氨酯發(fā)泡塑膠板,。送風口用不銹鋼板材架構(gòu),，外形美觀大方清潔，沖孔網(wǎng)板用噴漆鋁合金板,，不生銹不粘塵,，宜清潔。降低氣體中漂浮物體的含水量和合理地除去已存有的液體微粒子,，從始至終都是生產(chǎn)加工制造過程管理的主題思想,。