---質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，---質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善,。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的---質(zhì)譜檢涮儀,，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子,，汽車等各個(gè)行業(yè),，綜觀較新---質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，新能源汽車鋰電池動(dòng)力電池包---檢漏設(shè)備,，---質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度,、自動(dòng)化,、寬程,、等---方向發(fā)展,，這些特點(diǎn)---地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,，也---的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展,。---質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)---質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成,。其中質(zhì)譜管包括離子源,，分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成,。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并---成束，以一定能量注入質(zhì)分析器,，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式,。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離,。

離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)分析器所選定的---離子流并加以放大,，再通過比對(duì)運(yùn)算,，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,，同時(shí)完成被檢件的抽空和---氣的引入,。真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成,。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的---質(zhì)譜檢漏儀,，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,，因而具有較高的靈敏度,，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,，---氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,，因此被廣泛采用,，已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,，油泵工作會(huì)有油霧排出，氫燃料儲(chǔ)罐---檢漏設(shè)備,，污染工作環(huán)境,，干泵沒有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀,。

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---質(zhì)譜檢漏用---氣的選擇

---氣是一種無色,、無味的隋性氣體,。相對(duì)分子為4.003，分子直徑為2.18×10-10m,，分子的為3.65×10-27kg,，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25k,，臨界壓力為2.26×105pa,，1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214k，熔點(diǎn)為0.9k,，三相點(diǎn)溫度為2.186k,，---檢漏設(shè)備，三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2pa，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79j/(m·h·k),，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233j/(kg·k),，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5pa·s，1l液---氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的---氣體積為700l,。

規(guī)定的瓶裝---氣按純度高低分別為工業(yè)用---,、純---、高純---三種,。

1,、工業(yè)用---：---含量***99%，露1點(diǎn)≤43℃.

2,、純---分三級(jí)：優(yōu)等品---含量***99.995%,；一等品---含量***99.993%；合格品---含量***99.99%,。

3,、高純---分為三級(jí)：優(yōu)等品---含量***99.9996%；一等品---含量***99.9993%,；合格品---含量***99.999%,。

---氣在---質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高,，一般選用工業(yè)用---,，即---含量***99%，露1點(diǎn)≤43℃,。

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