根據(jù)以上原則,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,,排氣閥門真空泵維修,,可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,,單級泵往往不能滿足,,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較---量,,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmhg以上,可選用水環(huán)----泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置,。
如果只作真空泵用,,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構(gòu)造簡單,,容易制造和維護,,且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較---量的壓縮機使用,,則選用雙作用的泵比較合適,。因為雙作用泵的氣量大,體積小,,重量輕,,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,,泵的使用壽命較長,。
目前有兩代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品由于軸承密封隔離不是---,,不能做到完全無油,,故不使用。第二代產(chǎn)品是單級渦旋設(shè)計,。只有一個軸承,,軸承與真空腔隔離,完全無油,。并且裝有控制系統(tǒng),,sbv真空泵維修,可變頻控制0,、50,、60、70hz,,故性能較好,。產(chǎn)品不需要維修,2~3年更換密封件,,維護方便,、簡單,具有較強的抽水蒸氣能力,。boc公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右,。美國varian公司:美國varian公司1998年開發(fā)了渦旋泵,到目前已有三代渦旋泵產(chǎn)品,。代產(chǎn)品已基本停產(chǎn),。第二通過技術(shù)改進,,形成了風(fēng)格的二級設(shè)計:級是三渦旋線同時抽氣,可提高抽速,,工作在從---壓到5.5×104pa;第二級是單渦旋線,,從5.5×104pa到---。一,、二級同時工作,,是真正的(從壓力角度區(qū)分的)兩級泵。第三代產(chǎn)品是在第二代產(chǎn)品上增加了控制系統(tǒng),。varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產(chǎn)品,,作為分子泵的前級主泵,不需要維修,,15升真空泵維修,,2~3年更換密封件,維護方便,、簡單,,因此在我國銷量達100臺/年以上。
渦旋真空泵具有較高的壓縮比,,在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速,,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動扭矩變化小,,功率變化小,振動噪聲低,,真空泵維修,,這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實現(xiàn)渦旋泵有效工作的目的,,必須使渦旋型線在各個真空氣腔---嚙合,,避免由于真空腔壓差大等因素導(dǎo)致渦旋壁受力情況惡化、產(chǎn)生熱變形,、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況,。所以要---渦旋型線之間的包容與嚙合,控制工作介質(zhì)的泄漏,,達到抽氣目的,。這是渦旋泵結(jié)構(gòu)設(shè)計的重要依據(jù)。在泵的抽氣流道中,,無須使用任何油類和密封液體作為介質(zhì),,依靠動、靜渦旋盤相對轉(zhuǎn)動形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出,,連續(xù)完成吸氣,、壓縮和排氣過程。因此,如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要,。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封,,即齒頂密封,和徑向嚙合間隙的切向密封,,即齒側(cè)密封,。
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