emmi微光顯微鏡

微光顯微鏡emission microscope,， emmi是常用漏電流路徑分析手段,。對(duì)于故障分析而言，微光顯微鏡emission microscope,，微光顯微鏡,， emmi是一種相當(dāng)有用且效率---的分析工具。主要偵測(cè)ic內(nèi)部所放出光子,。在ic元件中,，ehpelectron hole pairsrecombination會(huì)放出光子photon。如在p-n結(jié)加偏壓,，此時(shí)n阱的電子很容易擴(kuò)散到p阱,，而p的空穴也容易擴(kuò)散至n，然后與p端的空穴或n端的電子做ehp recombination,。在故障點(diǎn)定位,、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面，微光顯微鏡可分析p-n接面漏電,；p-n接面崩潰,；飽和區(qū)晶體管的熱電子；氧化層漏電生的光子激發(fā),；l---h up,、gate oxide defect、junction leakage,、hot carriers effect,、esd等問(wèn)題.

其實(shí)利用在檢測(cè)芯片的過(guò)程當(dāng)中，其實(shí)這種方法是非常有效的，關(guān)于emmi分析國(guó)內(nèi)目前的技術(shù)通常已經(jīng)達(dá)到了要求,，在對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)過(guò)程當(dāng)中,，微光顯微鏡價(jià)格，利用微光顯微鏡它的效果通常是非常明顯的,。比如說(shuō)如果說(shuō)亮點(diǎn)被遮掩的過(guò)程當(dāng)中采用的是利用-紅波的發(fā)光，通過(guò)拋光的處理來(lái)進(jìn)行探測(cè),，這樣才能夠有效的去發(fā)現(xiàn)金屬歸沉寂的有效缺陷,。