吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵,。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金,。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,，以達到抽氣的目的,。它有如下幾種型式。1蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵,。2濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵,。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為：粗真空,、高真空,、真空三大類。

臥式泵的進氣口在上,，排氣口在下,。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出,，即進,、排氣方向是相互垂直的。此時,，排氣口可以從左或右兩個方向開口,，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥,。這種泵結(jié)構(gòu)低,，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大,、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。