單級(jí)旋片真空泵系統(tǒng)是理想的高真空獲得設(shè)備,，用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。真空系統(tǒng)是由真空泵,、plc程序控制系統(tǒng),、儲(chǔ)氣罐、真空管道,、真空閥門,、-過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。

油式單級(jí)旋片真空泵工作原理：

轉(zhuǎn)子在圓形的缸體內(nèi)通過(guò)電機(jī)聯(lián)節(jié)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),，轉(zhuǎn)子軸線偏離缸體中心線,，因此轉(zhuǎn)子與缸體內(nèi)壁形成線性接觸，烤箱高真空系統(tǒng),，葉片沿著轉(zhuǎn)子的滑槽滑動(dòng),，將缸體和轉(zhuǎn)子之間隔成多個(gè)工作腔，當(dāng)工作腔和進(jìn)氣口相連時(shí)，吸入氣體,，珠海真空系統(tǒng),，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，被吸入的氣體被壓縮,，進(jìn)而排除到油氣分離器內(nèi),。恒定的壓力差使真空泵潤(rùn)滑油進(jìn)入壓縮腔。潤(rùn)滑油和被抽氣體一起進(jìn)入油氣分離器,，通過(guò)重力作用和油氣濾網(wǎng)及排氣過(guò)濾器網(wǎng)的作用下使得油,、氣分離，潤(rùn)滑油回落到油箱底部,，再次循環(huán),，不含油的氣體通過(guò)排氣口排向-。

油式旋片真空泵主要優(yōu)點(diǎn)：

1.易于安裝及保養(yǎng)

2.油鏡視窗大,，便于確認(rèn)油污染狀況

3.直接驅(qū)動(dòng),，免皮帶.齒輪松弛或損耗

4.高抽速，真空度穩(wěn)定,，噪音小,，震動(dòng)低

5.空氣冷卻，散熱效果好,，螺栓固定泵浦

6.內(nèi)置油霧分離器,，有效避免油氣制程污染，電廠真空系統(tǒng),，潔凈環(huán)境

7.泵帶氣鎮(zhèn)閥裝置,，可過(guò)濾一定量水蒸氣與可凝性氣體，-

8.進(jìn)氣口裝有逆止閥,，當(dāng)泵停止時(shí),，逆止閥能有效避免油氣逆流

用途：

主要應(yīng)用于真空鍍膜、微電子,、光電半導(dǎo)體、太陽(yáng)能,、冶煉,、封裝測(cè)試、真空含浸,、等離子清洗等行業(yè),。